发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03178164(A) 申请公布日期 1991.08.02
申请号 JP19890318561 申请日期 1989.12.06
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 AOKI KENJI
分类号 H01L21/8238;H01L21/225;H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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