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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03178136(A) 申请公布日期 1991.08.02
申请号 JP19890318425 申请日期 1989.12.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOYAMA TORU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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