发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03178139(A) 申请公布日期 1991.08.02
申请号 JP19890316398 申请日期 1989.12.07
申请人 FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK 发明人 WATANABE KOJI;SUWA MAMORU;OYAMA NOBUO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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