| 主权项 |
1.一种连续真空处理装置,其特征为,备有收容被处理物的容器,和复数的上述容器可以在其内部连接起来移动的隧道状之匣套,和使上述容器在该匣套内移动的驱动装置,和从上述匣套遍端以比上述容器的长度宽之位置在上述匣套开口之复数的排气风道,和在上述复数的开口部之间将上述容器的外面与上述匣套的内面之间予以封缄的封标装置,和通过上述复数的排气风道将上述匣套内予以排气之排气设备者。2.一种连续真空处理装置,其特征为,备有收容器被处理物的容器,和在其内部有复数的上述容器能连接起来移动的隧道状之复数的匣套,和能使上述容器在部份 匣套内移动的驱动装置,和在上述复数的匣套之各颉数地点分则开口之排气风道,和在上述复数的开口部之间将上述容器的外面与上述匣套的内面之间予以封缄的封缄装置,和通过上述排气风道将上述复数的匣套内予以排气之单一的排气设备者。3.一种连续真空处理装置,其特征为,备有收容器被处理物的容器,和在其内部 有复数的上述容器能连接起来移动的隧道状之匣套,和能使上述容器在该匣套内移动的显动装置,和隔开上述容器的长度宽之间隔在上述匣套开口的复数之排气风道,和在上述复数的开口的部之间将上述容器的外面与上述匣套的内面之间予以封缄的封缄装置,和通过上述复数的排气风道将上述复数的排气风道将上述匣套内予以阶段性地排气之排气设备者。4.如申请专利范围第1-3项中任何1项所记 载的连续真空处理装置,其特征为隧道状之匣套系为直线状者。5.如申请专利范围第1-3项中任何1项所记 载的连续真空处理装置,其特征为隧道状之匣套系具有水平的真空处理室和在其两端有向上下方向延伸之装入边与排出边部份者。6.如申请专利范围第2项或第3项的任何1项所记载之连续真空处理装置,其特征为隧道状的匣套系为形成环状者。7.如申请专利范围第3项所记 载的连续真空处理装置,其特征为在容器的移动方向之壁具有贯通孔者。8.如申请专利范围第1-3项中任何1项所记 载的连续真空处理装置,其特征为备有被设在容器的外面与匣套的内面之间之滚轮者。9.如申请专利范围第1-3项中任何1项所记 载的连续真空处理装置,其特征为隧道状之匣套具有圆形剖面,容器也具有圆形剖面图者。10.如申请专利范围第8项所记 载的连续真空处理装置,其特征为在邻接的容器之前后的壁被设置防止容器旋转手段者。 |
