| 发明名称 |
FORMATION OF DIAMOND-LIKE CARBON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03177399(A) |
申请公布日期 |
1991.08.01 |
| 申请号 |
JP19890313438 |
申请日期 |
1989.12.04 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
IKOMA KEIKO;KURIHARA NORIKO;HIRABAYASHI KEIJI;TANIGUCHI YASUSHI |
| 分类号 |
C30B29/04;C30B25/02;C30B25/16 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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