| 发明名称 |
SURFACE MODIFICATION OF ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03177375(A) |
申请公布日期 |
1991.08.01 |
| 申请号 |
JP19890313510 |
申请日期 |
1989.12.04 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
ISHII MASAYUKI;FUJITA NOBUHIKO;YAMANAKA SEISAKU |
| 分类号 |
C04B41/80;C04B41/87;H01L23/15 |
主分类号 |
C04B41/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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