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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03177024(A) 申请公布日期 1991.08.01
申请号 JP19890315258 申请日期 1989.12.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKEGAWA MASATO;KOBAYASHI JUNICHI;SUGAWARA KATSUO
分类号 H01L21/205;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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