| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR MATERIAL WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03177400(A) |
申请公布日期 |
1991.08.01 |
| 申请号 |
JP19900297382 |
申请日期 |
1990.11.05 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
MUHAMEDO AFUZAI SHIYAHIDO |
| 分类号 |
C30B29/40;C30B11/00;C30B11/14;C30B29/48;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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