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发明名称 LADUNGSTRANSFEREINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE4102583(A1) 申请公布日期 1991.08.01
申请号 DE19914102583 申请日期 1991.01.29
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MAEGAWA, SHIGETO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/28;H01L29/423;H01L29/51 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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