发明名称 CRUCIBLE FOR VAPORIZATION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH03177563(A) 申请公布日期 1991.08.01
申请号 JP19890315599 申请日期 1989.12.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHIWAKI FUMITOSHI;NAKAGIRI YASUSHI;YAMAMOTO YOSHIAKI;TANAKA HIROYOSHI
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址