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发明名称
PULLING UP OF SINGLE CRYSTAL AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH03177392(A)
申请公布日期
1991.08.01
申请号
JP19890316716
申请日期
1989.12.06
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
MIYAZAKI YOSHIMASA
分类号
C30B15/02;C30B30/04;H01L21/208
主分类号
C30B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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