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发明名称 EINRICHTUNG ZUR STATIONAEREN BESCHICHTUNG EBENER SUBSTRATE IM HOCHVAKUUM
摘要
申请公布号 DD292483(A5) 申请公布日期 1991.08.01
申请号 DD19900338396 申请日期 1990.03.05
申请人 FORSCHUNGSINSTITUT MANFRED VON ARDENNE,DE 发明人 HEISIG,ULLRICH,DE;KORNDOERFER,CHRISTIAN,DE;SCHILLER,SIEGFRIED,DE;LIEBERGELD,HORST,DE;HOLFELD,ANDREAS,DE
分类号 C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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