| 发明名称 |
SUPPLY DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03177220(A) |
申请公布日期 |
1991.08.01 |
| 申请号 |
JP19890313742 |
申请日期 |
1989.12.01 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KOJIMA SHIGEMITSU;WATANABE MASAO |
| 分类号 |
B65B69/00;B65G43/02;B65G43/08;B65G47/06;B65G47/82 |
主分类号 |
B65B69/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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