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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03177065(A) 申请公布日期 1991.08.01
申请号 JP19890315477 申请日期 1989.12.06
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 IWAHASHI MASANORI
分类号 H01L21/8238;H01L21/8247;H01L27/092;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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