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发明名称 EINACHSIGES LUFT-MESS-FOKUSSYSTEM
摘要
申请公布号 DE4102746(A1) 申请公布日期 1991.08.01
申请号 DE19914102746 申请日期 1991.01.30
申请人 ATEQ CORP., BEAVERTON, OREG., US 发明人 THOMAS, TIM, BEAVERTON, OREG., US;CHRISTENSON, ERIC;HOLMSTROM, BOB;MIRRO JUN., EUGENE, PORTLAND, OREG., US
分类号 G01B13/00;G01B13/02;G02B7/28;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00 主分类号 G01B13/00
代理机构 代理人
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