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经营范围
发明名称
APPARATUS AND METHOD OF PATTERN DETECTION BASED ON A SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
EP0348992(A3)
申请公布日期
1991.07.31
申请号
EP19890111920
申请日期
1989.06.30
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
KOSHISHIBA, HIROYA;FUSHIMI, SATORU;NAKAGAWA, YASUO;NAKAHATA, KOZO
分类号
G01B15/00;G01N23/04;G01Q30/02;G01Q30/04;G03F1/00;H01J37/147;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/304
主分类号
G01B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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