发明名称 APPARATUS AND METHOD OF PATTERN DETECTION BASED ON A SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0348992(A3) 申请公布日期 1991.07.31
申请号 EP19890111920 申请日期 1989.06.30
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOSHISHIBA, HIROYA;FUSHIMI, SATORU;NAKAGAWA, YASUO;NAKAHATA, KOZO
分类号 G01B15/00;G01N23/04;G01Q30/02;G01Q30/04;G03F1/00;H01J37/147;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/304 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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