METHOD OF FABRICATING A BINARY OPTICS MICROLENS UPON A DETECTOR ARRAY.

摘要

Une structure de microlentille optique binaire tridimensionnelle (12) est fabriquée dans une contre-surface de réception de rayonnement d'un substrat (16) d'un réseau (10) de détecteurs de rayonnement. La microlentille possède une structure prédéterminée pour obtenir une concentration de rayonnement optique dans un spot de taille désirée au niveau du plan de détecteur (18) facilitant ainsi l'utilisation de détecteurs de zone active réduite. Le rayonnement incident peut être un rayonnement plan ou peut être préfocalisé par des optiques externes. Le procédé de l'invention détermine une solution de microlentille binaire sur une lentille de Fresnel qui permet d'obtenir la concentration optique désirée, le procédé consistant en outre à placer au moins une couche de masquage de fabrication sur la contre-surface du réseau ainsi que l'élimination sélective de matière de la contre-surface du réseau pour créer la structure de la microlentille.