Arc-evaporator with several evaporation crucibles.

摘要

Die Erfindung betrifft einen Bogenentladungsverdampfer mit mehreren Verdampfertiegeln, insbesondere zur Herstellung plasmagestützt abgeschiedener Misch- oder Mehrfachschichten. Der Verdampfer kann überall dort vorteilhaft eingesetzt werden, wo zwei oder mehr verdampfbare Stoffe parallel oder nacheinander verdampft werden sollen. Die Abscheidung auf dem Substrat kann für ein oder alle Verdampfungsmaterialien reaktiv erfolgen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Bogenentladungsverdampfer mit mehreren Verdampfertiegeln anzugeben, mit dem die eingesetzten Verdampfungsmaterialien einzeln oder gemeinsam und mit variablem Mischungsverhältnis verdampft werden können. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der Bogenentladungsverdampfer eine Kathode und mehrere anodische Verdampfertiegel aufweist, wobei die Verdampfertiegel gegeneinander isoliert sind, jeweils eine separate Stromzuführung haben, und gemeinsam innerhalb des Wirkbereichs eines gemeinsamen Magnetsystems zur Bogenlenkung angeordnet sind. Die Stromzuführungen sind jeweils mit regelbaren Stromquellen verbunden.