发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03175644(A) 申请公布日期 1991.07.30
申请号 JP19890315826 申请日期 1989.12.04
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAGUCHI YUKIKO
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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