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发明名称 Surface microscope
摘要
申请公布号 US5036196(A) 申请公布日期 1991.07.30
申请号 US19900533341 申请日期 1990.06.05
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 HOSAKA, SUMIO;HOSOKI, SHIGEYUKI;HASEGAWA, TSUYOSHI
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01D21/02;G01N27/00;G01N27/02;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/04;G01Q60/10;G01Q60/24;G01R31/302;H01J37/00;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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