发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03175287(A) 申请公布日期 1991.07.30
申请号 JP19890313666 申请日期 1989.12.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INOUE FUMIHIKO
分类号 F27B9/36;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/31;H01L21/324 主分类号 F27B9/36
代理机构 代理人
主权项
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