Rapid thermal processing method of making a semiconductor device,申请号US19890394600-传众专利搜索

发明名称	Rapid thermal processing method of making a semiconductor device
摘要
申请公布号	US5036023(A)	申请公布日期	1991.07.30
申请号	US19890394600	申请日期	1989.08.16
申请人	AT&T BELL LABORATORIES	发明人	DAUTREMONT-SMITH, WILLIAM C.;KATZ, AVISHAY;KOSZI, LOUIS A.;SEGNER, BRYAN P.;THOMAS, PETER M.
分类号	H01L21/28;H01L21/285;H01L29/45;H01L33/24;H01L33/30;H01L33/40;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/223;H01S5/24	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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