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发明名称 WIRING OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03175653(A) 申请公布日期 1991.07.30
申请号 JP19890315768 申请日期 1989.12.04
申请人 NEC CORP 发明人 AIZAWA HISAMITSU
分类号 H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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