发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03175638(A) 申请公布日期 1991.07.30
申请号 JP19890315783 申请日期 1989.12.04
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI KAZUMI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
地址