发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASUREMENT OF DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03173147(A) 申请公布日期 1991.07.26
申请号 JP19890310585 申请日期 1989.12.01
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ISHIKIRIYAMA MAMORU
分类号 H01L21/66;H01L21/304 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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