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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03173451(A) 申请公布日期 1991.07.26
申请号 JP19890313162 申请日期 1989.12.01
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 ODA YUJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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