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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH03173114(A)
申请公布日期
1991.07.26
申请号
JP19890310632
申请日期
1989.12.01
申请人
HITACHI LTD
发明人
KATO HARUO;MISHIMAGI HIROMITSU;MASUZAWA KAZUTAKA
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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