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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03173466(A)
申请公布日期
1991.07.26
申请号
JP19890313753
申请日期
1989.12.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
INOUE TAKESHI
分类号
H01L27/04;H01L21/822;H01L23/522;H01L23/556;H01L23/60;H01L23/62;H01L27/06
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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