发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03173466(A) 申请公布日期 1991.07.26
申请号 JP19890313753 申请日期 1989.12.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 INOUE TAKESHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L23/522;H01L23/556;H01L23/60;H01L23/62;H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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