| 发明名称 |
MANUFACTURE OF DIFFUSION RESISTANCE ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03173467(A) |
申请公布日期 |
1991.07.26 |
| 申请号 |
JP19890313723 |
申请日期 |
1989.12.01 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
AOKI KENJI;AKAMINE TADAO;SAITO NAOTO |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/205;H01L21/225;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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