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发明名称 MASTER SLICE SYSTEM LSI
摘要
申请公布号 JPH03173457(A) 申请公布日期 1991.07.26
申请号 JP19890313748 申请日期 1989.12.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOKOTA YOSHIO
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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