发明名称 MANUFACTURE AND MANUFACTURING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR PLASTIC PACKAGE
摘要
申请公布号 JPH03173445(A) 申请公布日期 1991.07.26
申请号 JP19890310675 申请日期 1989.12.01
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MACH & ENG LTD 发明人 NAKAMURA SHOZO;KANEDA AIZO;TSUNODA SHIGEHARU;NOZAWA KATSUTOSHI;KUBOTA RYUJI;HASEBE AKIO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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