发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03173436(A) 申请公布日期 1991.07.26
申请号 JP19890313598 申请日期 1989.12.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OTA TOSHIMICHI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;H05K1/18 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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