发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH03171717(A) 申请公布日期 1991.07.25
申请号 JP19890311373 申请日期 1989.11.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAWAGUCHI HIDEKAZU
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址