发明名称 FORMATION OF ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03171678(A) 申请公布日期 1991.07.25
申请号 JP19890311466 申请日期 1989.11.29
申请人 HIKARI KEISOKU GIJUTSU KAIHATSU KK 发明人 WADA MORIO;SEKIGUCHI YOICHI
分类号 H01L31/10;H01L21/28 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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