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发明名称 MULTILAYER FILM STRUCTURED SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03171621(A) 申请公布日期 1991.07.25
申请号 JP19890311269 申请日期 1989.11.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOYAMA TORU;TAMURA KATSUHIKO;NAGAMINE TAKAKO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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