| 发明名称 |
SAFETY DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03172589(A) |
申请公布日期 |
1991.07.25 |
| 申请号 |
JP19890310313 |
申请日期 |
1989.11.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU TOHOKU ELECTRON:KK |
发明人 |
KIKUCHI TAKESHI |
| 分类号 |
F04C28/28;F04B49/10;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
F04C28/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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