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发明名称 METHOD OF FORMATION OF INP CONDUCTIVE LAYER
摘要
申请公布号 JPH03171619(A) 申请公布日期 1991.07.25
申请号 JP19890309703 申请日期 1989.11.29
申请人 NEC CORP 发明人 ASASO KAZUNORI
分类号 H01L21/324;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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