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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES FELDEFFEKTTRANSISTORS.
摘要
申请公布号 DE3679868(D1) 申请公布日期 1991.07.25
申请号 DE19863679868 申请日期 1986.07.25
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ENOKI, TAKAMOTO, ZAMA-SHI KANAGAWA 228, JP;YAMASAKI, KIMIYOSHI, ISEHARA-SHI KANAGAWA 259-11, JP;OHWADA, KUNIKI, HACHIOJI-SHI TOKYO 192, JP
分类号 H01L29/812;H01L21/285;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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