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发明名称 PLASMA TREATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03170684(A) 申请公布日期 1991.07.24
申请号 JP19890308638 申请日期 1989.11.28
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD;HITACHI LTD 发明人 HIJIKATA ISAMU;UEHARA AKIRA;ENAMI HIROMITSU
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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