| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR ARC DISCHARGE CATHODIC EVAPORATION HAVING CATHODE SPOT FOR REDUCING DISCHARGE OF LARGE PARTICLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03170664(A) |
申请公布日期 |
1991.07.24 |
| 申请号 |
JP19900240175 |
申请日期 |
1990.09.12 |
| 申请人 |
CESKOSLOVENSKA AKAD VED |
发明人 |
IJII BUISUKOCHIIRU;INDOJIFU MUSHIRU |
| 分类号 |
C23C8/36;C23C4/00;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/48;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C8/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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