发明名称 THREE-DIMENSIONAL SEMICONDUCTOR STRUCTURES FORMED FROM PLANAR LAYERS
摘要
申请公布号 EP0424623(A3) 申请公布日期 1991.07.24
申请号 EP19900115752 申请日期 1990.08.17
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 PRICER, WILBUR D.;FAURE, THOMAS B.;MEYERSON, BERNARD S.;TURNBULL, JOHN R., JR.;NESTORK, WILLIAM, J.
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/00;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L27/102;G11C11/36 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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