发明名称 |
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE WITH INFORMATION STORAGE VERTICAL TRENCH CAPACITOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0177066(B1) |
申请公布日期 |
1991.07.24 |
申请号 |
EP19850112692 |
申请日期 |
1985.10.07 |
申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
ISHIJIMA, TOSHIYUKI C/O NEC CORPORATION;YOSHIDA, MASAAKI C/O NEC CORPORATION |
分类号 |
H01L29/92;H01L27/10;H01L21/8242;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L29/92 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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