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发明名称 DEPOSITION PROCESSES
摘要
申请公布号 EP0367466(A3) 申请公布日期 1991.07.24
申请号 EP19890310869 申请日期 1989.10.23
申请人 THE GENERAL ELECTRIC COMPANY, P.L.C. 发明人 HAWS, STEPHEN ANTHONY
分类号 G02B5/20;G02F1/1335;G02F1/1343;(IPC1-7):G02F1/133;G03F7/00 主分类号 G02B5/20
代理机构 代理人
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