用于校正偏转光束位置误差的方法和装置

摘要

本发明公开了一种校正偏转光束位置误差的方法和装置，由激光二极管(1)产生光束(2)，由带镜面(18)的偏转系统(17)偏转，送到图面(23)上。实际工作前，由测量点(32a，32b，32c)对各镜面测量该光束沿行方向的X位置误差及相垂直的Y位置误差。对每个镜面产生X校正值和Y校正值。激光二极管根据校正值作校正移动，消除位置误差。检测位置误差时，改变校正值，直到补偿位置误差为止。将此校正值存储起来，实际工作时，将这些校正值与偏转系统的运动同步输出，作误差补偿。

主权项

1、一种校正偏转光束位置误差的方法，该偏转光束是由至少带一个镜面的偏转系统逐点逐行传送到图面上，该光束相对于偏转系统的行方向作横向运动，其特征在于： -由激光二极管产生光束，该激光二极管根据校正值垂直于出射光束方向移动； -在实际工作之前，在图面范围内对着行方向的多个测量点上对偏转系统的每个镜面测量该光束在行方向上的位置误差(X位置误差)和垂直于行方向的位置误差(Y位置误差)； -对偏转系统的每个镜面至少产生一个X校正值和一个Y校正值； -激光二极管根据Y校正值移动，使投射到图面上的光束在垂直于行方向作校正移动，以便消除Y位置误差； -在检测位置误差同时，改变校正值，直到补偿了位置误差为止，再将补偿所要求的校正值存储起来； -在实际工作时，将对各个镜面测得和存储的校正值与偏转系统同步输出，不断地作误差补偿。