OXYGEN ION-BEAM MICROLITHOGRAPHY,申请号AU19900066467-传众专利搜索

发明名称	OXYGEN ION-BEAM MICROLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号	AU6646790(A)	申请公布日期	1991.07.24
申请号	AU19900066467	申请日期	1990.10.08
申请人	MIDWEST RESEARCH INSTITUTE	发明人	Y. SIMON TSUO
分类号	G03F7/004;G03F7/20;G03F7/36	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
主权项
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