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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR NONDESTRUCTIVELY DETERMINING THE CHARACTERISTICS OF A MULTILAYER THIN FILM STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0231264(B1) 申请公布日期 1991.07.24
申请号 EP19860904618 申请日期 1986.07.03
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 BOSACCHI, BRUNO;OEHRLE, ROBERT, CHARLES
分类号 G01B11/06;G01N21/27;G01N21/41;G01N21/55;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/205;H01L21/66 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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