发明名称 Structure and fabrication method for a double trench memory cell device
摘要
申请公布号 US5034787(A) 申请公布日期 1991.07.23
申请号 US19900545225 申请日期 1990.06.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DHONG, SANG H.;HWANG, WEI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/94 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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