| 发明名称 |
Method of manufacturing a silicon on insulator (SOI) semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5034335(A) |
申请公布日期 |
1991.07.23 |
| 申请号 |
US19900592040 |
申请日期 |
1990.10.03 |
| 申请人 |
U.S. PHILIPS CORP. |
发明人 |
WIDDERSHOVEN, FRANCISCUS P. |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/266;H01L21/74;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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