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发明名称 METHOD FOR JUDGING PRECISE CLEANLINESS
摘要
申请公布号 JPH03167462(A) 申请公布日期 1991.07.19
申请号 JP19890308242 申请日期 1989.11.28
申请人 NEOS CO LTD 发明人 HATA ICHIRO;SAMEJIMA TEIICHIRO
分类号 G01N27/06 主分类号 G01N27/06
代理机构 代理人
主权项
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