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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03167830(A) 申请公布日期 1991.07.19
申请号 JP19890308070 申请日期 1989.11.28
申请人 SONY CORP 发明人 SHIIMOTO TSUNENORI
分类号 H01L29/73;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/082;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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